电子束蒸发操作规范

电子束蒸发使用安全规范

1、 实验前确认事项

A、开启液氮；

B、冷却机水箱是否具有足够的水。

2、 装样

A、 拧开样品台上的四个螺母，断开冷却水管，取出样品台；

B、 使用乙醇擦拭样品台与腔体的接口；

C、 装样；

D、 把样品台放入腔体，拧紧样品台的螺母，接上冷却水管。

3、 开机，抽真空

A、打开总电源，开启冷却水机；

B、打开电脑操作软件，启动分子泵以及机械泵。

4、 除气

A、 待腔体内气压低于10-3pa（时间允许情况下真空度尽量

低）；

B、 打开面板电源；

C、 HV降至0V；

D、 Control Mode设置为Filament Current;

E、 Pocket 1设置为Enable；

F、 逐渐提高Filament Current至1A，注意不要使真空度降低

过快；

G、 将Filament Current降至0，关闭Pocket 1。

5、 镀膜

A、 HV升高至2 kV；

B、 Control Mode设置为HV power；

C、 逐渐提高HV power（视工艺参数而定），同时注意不要使

真空度降低过快；

D、 打开蒸发源挡板，稳定5分钟；

E、 打开样品台挡板，正式镀膜，记录镀膜开始时间；

F、 关挡板，记录结束镀膜时间，降低HV power至0 w，然

后降低HV至0 V（注意降低的顺序不可颠倒）；

G、 冷却30分钟。

6、 取样

A、 关闭分子泵以及机械泵，关闭冷却水机；

B、 待分子泵转速低于2000rpm，若电磁阀为自动开启需手动

开启，拧开样品台螺母，通入氮气至样品台可取出（勿正对玻璃观察窗）；

C、 断开冷凝水管，取出样品台，取样；

D、 将样品台放入腔体，接上冷凝水管。

7、 关机

A、 关闭总电源；

B、 关闭计算机（勿忘记关闭电磁阀）。